Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz (1994)
- Authors:
- Autor USP: FRAGALLI, JOSE FERNANDO - IFSC
- Unidade: IFSC
- Sigla do Departamento: FCM
- Subjects: SUPERFÍCIE FÍSICA; SUPERFÍCIE FÍSICA; MATÉRIA CONDENSADA
- Language: Português
- Abstract: Apresentamos neste trabalho uma tecnica alternativa para a obtencao de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado (a-'SI':h). Nos depositamos a-'SI':h em um sistema de deposicao que utiliza descarga luminescente a baixas frequencias (60hz). Para tanto, nos projetamos todo o reator para que este objetivo pudesse ser atingido. Os filmes obtidos por nos mostram propriedades opticas e eletronicas bastante proximas aquelas dos filmes produzidos pela tecnica convencional de descarga luminescente a radio-frequencia (13,56 mhz). A temperatura do substrato otima para a tecnica de descarga luminescente a baixas frequencias esta na faixa 150-170'GRAUS'c, em torno de 100'GRAUS'c menor do que aquela usada para radio-frequencia. Neste trabalho nos apresentamos medidas das propriedades dos filmes, incluindo condutividade no escuro, fotocondutividade, comprimento de difusao ambipolar, absorcao no infra-vermelho, gap optico, e densidade de defeitos de niveis profundos. Para realizar parte destas medidas, nos construimos sistemas experimentais de caracterizacao exclusivos para o a-'SI':h
- Imprenta:
- Publisher place: São Carlos
- Date published: 1994
- Data da defesa: 28.10.1994
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ABNT
FRAGALLI, Jose Fernando. Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz. 1994. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Carlos, 1994. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/. Acesso em: 25 set. 2024. -
APA
Fragalli, J. F. (1994). Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/ -
NLM
Fragalli JF. Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz [Internet]. 1994 ;[citado 2024 set. 25 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/ -
Vancouver
Fragalli JF. Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz [Internet]. 1994 ;[citado 2024 set. 25 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/
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