Estudo e determinacao de um processo fotolitografico utilizando fotorresiste positivo, visando a aplicacao industrial (1994)
- Autores:
- Autor USP: SILVA, CLAUDIO MORAIS DE ASSIS - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Assunto: RESISTÊNCIA DOS MATERIAIS
- Idioma: Português
- Resumo: Neste trabalho, sao estudados as tecnicas e metodos para a determinacao de um processo fotolitografico, utilizando-se fotorresiste positivo. Este processo foi desenvolvido em ambiente industrial. Sao discutidos os problemas de obtencao, exposicao, revelacao e cozimento da camada de fotorresiste. Trata-se, tambem, dos problemas relacionados a definicao de geometrias na camada de fotorresiste. O processo desenvolvido permitiu definir geometrias de 3'MICROMETROS' a 2 'MICROMETROS' em camadas de fotorresiste de 1,2 'MICROMETROS' a 1,6 'MICROMETROS' de espessura. O fotorresiste e o revelador utilizados foram o hpr204 e hprd419 respectivamente. O estudo estabeleceu as influencias das variaveis do processo na determinacao da espessura e das dimensoes definidas na camada de fotorresiste. Para isso, foram utilizados projetos fatoriais, que consistem em tecnicas estatisticas para a elaboracao e execucao de experimentos. Estes projetos permitem a determinacao qualitativa e quantitativa das influencias das variaveis do processo nas dimensoes das geometrias. Foram obtidas, tambem, as curvas que caracterizam o processo.
- Imprenta:
- Data da defesa: 17.06.1994
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ABNT
SILVA, Claudio Morais de Assis. Estudo e determinacao de um processo fotolitografico utilizando fotorresiste positivo, visando a aplicacao industrial. 1994. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1994. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Silva, C. M. de A. (1994). Estudo e determinacao de um processo fotolitografico utilizando fotorresiste positivo, visando a aplicacao industrial (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Silva CM de A. Estudo e determinacao de um processo fotolitografico utilizando fotorresiste positivo, visando a aplicacao industrial. 1994 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Silva CM de A. Estudo e determinacao de um processo fotolitografico utilizando fotorresiste positivo, visando a aplicacao industrial. 1994 ;[citado 2024 abr. 19 ]
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