Subjects: SENSORES ÓPTICOS, FOTÔNICA, MICROELETRÔNICA
ABNT
CARVALHO, Daniel Orquiza de. Desenvolvimento de processos de fabricação de dispositivos óptico integrados em tecnologia de silício para aplicação em sensoriamento. 2012. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2012. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19092012-170421/. Acesso em: 12 jun. 2024.APA
Carvalho, D. O. de. (2012). Desenvolvimento de processos de fabricação de dispositivos óptico integrados em tecnologia de silício para aplicação em sensoriamento (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19092012-170421/NLM
Carvalho DO de. Desenvolvimento de processos de fabricação de dispositivos óptico integrados em tecnologia de silício para aplicação em sensoriamento [Internet]. 2012 ;[citado 2024 jun. 12 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19092012-170421/Vancouver
Carvalho DO de. Desenvolvimento de processos de fabricação de dispositivos óptico integrados em tecnologia de silício para aplicação em sensoriamento [Internet]. 2012 ;[citado 2024 jun. 12 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-19092012-170421/